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LDSD-08 在线扩散/退火自动上下料机

LDSD-08 在线扩散/退火自动上下料机

摘要说明 :

在线扩散/退火自动上下料机是一款将扩散前的硅片从花篮自动放置到石英舟中,再自动送至扩散炉中,硅片扩散完后,再自动将扩散后的硅片从石英舟中放置到花篮中的设备。该设备具有较好的兼容性,可以兼容方形舟及菱形舟,且能对应2.38~3.15 mm不同齿距规格的石英舟。

技术参数

设备性能

– 速度:12000片/小时

– 极低的破损:≤ 0.02%

– 吸盘印、托齿痕等综合不良:≤0.02%

– 运行时间高达98.5%:成熟的设备和软件设计,在工业应用中久经考验防腐耐用的零部件

– 精密的吸盘托齿制造工艺,保证了机器的高可靠性

– 独特的托齿设计,保证了托齿更高的尺寸精度,单片可拆卸,更换更快,切换舟型成本更低

– 选用机器人插片,调试时间更短、插片稳定性更高、碎片率及划伤少

– 视觉系统检测碎片掉片,避免人工检查影响工作效率;配合托齿风刀,有效自动排除碎屑,避免二次碎片

– 可实现一拖二功能、预留测方阻工位、RFID追踪、对接AGV小车等各项功能

– 定制制作:可根据客户设备量身定制,更好保证品质

– 方便的操作与维护:PLC控制人机界面易于使用和理解,安装时间短

本设备为专利产品,仿冒必究!

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