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LDSD-03/04 刻蚀清洗自动上下料机

LDSD-03/04 刻蚀清洗自动上下料机

摘要说明 :

刻蚀清洗自动上下料机是将硅片从硅片承载盒中自动放置到刻蚀清洗机上的设备,本设备的主要部件大量选用日本进口部件,采用防腐蚀设计,保证了恶劣的环境下本设备的长寿命和高可靠性;设计紧凑,占地面积少;碎片率极低,能很好的保证客户的利益。先导丰富的光伏自动化设备制造经验,强大的研发能力,使产品更贴近客户需求,可根据客户不同的需求定制机器,达到与客户主设备的完美衔接。

技术参数

设备性能

– 速度:5000&10000片/小时;并可根据客户需求制定设备

– 极低的破损:≤ 0.02%

– 开机率高达98.5%:成熟的设备和软件设计,在工业应用中久经考验防腐耐用的零部件

– 定制制作:根据客户设备定制上下料机,5/8/10道清洗机均可无缝衔接

– 多种衔接方式:可单独配套刻蚀机台,也可配套其他工艺设备使用,如:刻蚀+碱抛、链氧+刻蚀+碱抛、SE+链氧+刻蚀+碱抛等

– 方便的操作与维护:PLC控制人机界面易于使用和理解,安装时间短

本设备为专利产品,仿冒必究!

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