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LDTW-15A 在线管式PECVD上下料机

LDTW-15A 在线管式PECVD上下料机

摘要说明 :

在线管式PECVD上下料机是一款将硅片从硅片承载盒中自动装载至PECVD石墨舟或从PECVD石墨舟中自动装载至硅片承载盒中的设备。本设备设计精巧,采用机器人系统加先导独特设计的机构组成,softtouch理念的完美体现,从而有效降低硅片碎片率。人工上下料无法比拟的稳定性、低碎片率,铸就了先导光伏设备的优异品质。可根据客户要求定制生产非标设备,以便更好满足客户需求。

技术参数

设备性能

– 速度:6000片/小时(根据不同舟型会有变动)

– 极低的破损:≤0.03%,先导设计的精密吸片系统和石墨舟定位机构,保证了极低的碎片率

– 运行时间高达98.5%:成熟的设备和软件设计,机构品牌机械臂+久经考验的零部件=良好的品质氧化

– 锆陶瓷吸盘,对膜面损伤降到最低,减少吸盘印隐患

– 带有掉片、漏吸检测功能,标配人工干预位及吸笔

– 预留PL工位,可兼容面阵及线扫AOI相机,可从硅片上方检测也可在硅片下方检测,有效的避免了硅片划伤

– 具有RFID花篮追踪、AGV小车对接等功能

– Softtouch工作理念:动作过程中与硅片接触搬运过程中均轻柔动作,以减少碎片

– 方便的操作与维护:PLC控制人机界面易于使用和理解,安装时间短

本设备为专利产品,仿冒必究!

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